Brush Scrubber Cleaner
磨刷清洗機
產品介紹
專為高端製程開發的表面清潔解決方案
本產品為面向高科技製程的乾濕複合式表面清洗設備，強調高潔淨度需求、穩定性與系統整合性，可去除晶圓、玻璃基板、PCB等表面的微粒與化學殘留。
產品特色
伺服驅動精密磨刷模組
雙軸磨刷頭由高轉速伺服馬達驅動，可依材料與污染物編程設定，兼顧清潔力與基材完整性。
多段式清洗與液體處理流程
支持多種清洗液，並以獨立流路與精密流量控制避免交叉污染。
模組化氣刀與乾燥系統
結合高速氣刀與紅外線/熱風乾燥，消除水痕、提升乾燥效率並降低缺陷率。
智慧化控制與製程監控介面
配備PLC與觸控HMI，支持配方儲存、即時監控、遠端診斷，並可與MES/監控系統整合。
潔淨室等級設備構造
機身採用不鏽鋼與耐化學腐蝕工程塑料，符合無塵室等級要求。
適用產業
晶圓製造（Front-End / Back-End）
光電顯示面板（TFT-LCD / AMOLED）
導電膜基材清潔（ITO / PET）
PCB電路板製程清潔
